硅片清洗超純水設(shè)備可以有效的去除污染物以及深度除鹽，清洗用硅片清洗超純水設(shè)備是根據(jù)用戶的特殊需求設(shè)計生產(chǎn)的新型水處理設(shè)備，可以根據(jù)實際用量，調(diào)整設(shè)備的出水量，避免造成不必要的浪費。今天，小編就給大家介紹下清洗硅片清洗超純水設(shè)備的常用工藝流程吧。

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點。

第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在最初投資少，占用的地方少。

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。

第二種采用兩級反滲透設(shè)備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點。

第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水比較經(jīng)濟和環(huán)保的超純水設(shè)備制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。

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